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　　還有很多國內(nèi)的。模具鋼與進(jìn)口的相比，在性能特點上有很多優(yōu)勢，在一些場合使用時可以使效果更加理想。摘要:模具型腔的表面粗糙度不僅影響成型器件的外觀，而且對產(chǎn)品性能也有很大影響。使用高端塑料模具鋼對表面質(zhì)量的要求越來越嚴(yán)格，目前拋光技術(shù)的局限性越來越大，難以滿足其要求。探索新的拋光技術(shù)制造高端塑料模具鋼獲得超光滑表面和全局平坦化是迫切的，具有重要的現(xiàn)實意義?；瘜W(xué)拋光(CMP)作為一種全局平坦化技術(shù)，廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路中，拋光材料可以達(dá)到理想的拋光性能。本文介紹了應(yīng)用更廣泛的高端塑料模具鋼以S136鋼為例， 討論了CMP技術(shù)獲得優(yōu)異拋光性能的工藝參數(shù)組合，并分析了其材料去除機理和化學(xué)拋光機理。本文采用X射線衍射、掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡對拋光性能進(jìn)行了表征，采用均方根粗糙度(RMS)和材料去除率(MRR)對拋光性能進(jìn)行了評價。本文研究了影響CMP性能的更重要的參數(shù)，包括拋光液的酸堿度、下壓力、拋光機轉(zhuǎn)速和磨粒類型。首先，用單因素變量法確定上述參數(shù)的近似分布水平。結(jié)果表明，壓力和轉(zhuǎn)速對S136鋼拋光性能的影響呈現(xiàn)相似的規(guī)律。隨著壓力和轉(zhuǎn)速的增加，MRR是湛江s136注塑制品制造商。在較小的參數(shù)值范圍內(nèi)，MRR與壓力和轉(zhuǎn)速的關(guān)系可以用改進(jìn)的Preston方程表示，預(yù)測值與實測值的誤差在2%以內(nèi)。當(dāng)壓力和轉(zhuǎn)速值進(jìn)一步增加時，普雷斯頓方程失效。拋光液的酸堿度對拋光性能有很大影響。在酸性拋光液體系中，S136鋼可以獲得較好的拋光性能。根據(jù)磨料種類的不同，同一種磨料不可能獲得更大的MRR和更小的均方根。綜合考慮后，選擇二氧化硅作為更佳磨粒。在確定了各參數(shù)的近似分布水平后，通過正交實驗提出了更佳拋光工藝參數(shù)，并通過實驗進(jìn)行了驗證。以MRR和RMS為評價指標(biāo)， 用XRD、SEM和AFM對結(jié)果進(jìn)行了驗證。結(jié)果表明，在更佳工藝參數(shù)下拋光后，S136鋼的均方根值為68.31nm，均方根值為2.87 nm，MRR值為173.26nm/min。與其他參數(shù)組合相比，更佳工藝參數(shù)可以獲得更小的表面粗糙度和更大的材料去除率，證實了上述正交實驗結(jié)果所獲得數(shù)據(jù)的有效性和可靠性。通過指標(biāo)關(guān)系圖分析了各因素對拋光性能的影響程度。更后，本文詳細(xì)討論了S136鋼在CMP過程中的材料去除機理和化學(xué)拋光機理，分析了拋光缺陷產(chǎn)生的原因。對于S136鋼的CMP過程， 關(guān)鍵和核心是實現(xiàn)化學(xué)作用和機械作用的平衡。所有參數(shù)變化和組合的本質(zhì)都是影響機械作用和化學(xué)作用的匹配平衡。蘇州市東锜模具鋼物資有限公司是一家有十多年經(jīng)營歷史的公司，主要銷售進(jìn)口和國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。模具鋼材料公司，公司擁有大小鋸床40余臺，銑床、數(shù)控加工設(shè)備20余臺，并配備檢測專業(yè)人員，真正做到了從下料、加工、發(fā)貨“一條龍”服務(wù)，節(jié)省了客戶寶貴的工作時間，大大提高了生產(chǎn)效率，深受客戶好評！

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